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LS25x.Lab.R

LSxxX.lab.O/R系列压电纳米线性位移台

超安静运动,20HZ驱动频率 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
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产品概述
LSxxX.lab.O/R系列压电纳米线性位移台特点:
 
• 超安静运动,20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型空间传感分辨率(R)100-200nm
• 最小步伐约10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台,摇摆台
•高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件

命名规则
LSxxX.lab.O/R系列 压电纳米线性位移台选型表
 

型号

LS25x.Lab.R

LS35x.Lab.o/R

LS65x.Lab.O/R

底面尺寸×高度(mm)

25×25×10

35×35×12

65×65×13

主体材质

默认不锈钢(可选铝合金、纯钛版)

自重(g)

40g

102g(.R)200g(.O)

200g(.O)

运动行程(mm)

8

20

30

最大速度(mm/s)

-20

最小步伐(nm)

~15

~10

~10

重复定位精度(nm)

/

300

200

驱动频率

Max. 20 kHz (超安静运动)

最大水平推力(N)

2

保持力

5

5

5

全行程俯仰/偏摆

0.2 mrad / 0.3 mrad(0.012°/0.017°)

水平负载

500g

500g

2000g

竖直负载

200g

200g

150g

位置传感类型

- 电阻型传感( .R )

-电阻型传感( .R )

-光栅尺传感(.O )

-电阻型传感( .R )

-光栅尺传感(.O )

位置传感量程(mm)

8

20

30

 

位置传感分辨率

 

- 150nm

电阻型传感( .R ),

100-200 nm

- 光栅尺传感(.O ),

10 nm(默认);

4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

 

- 电阻型传感( .R ),100-200 nm

- 光栅尺传感(.O ),10 nm(默认);

4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

 
尺寸图

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