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Carrier.Lxxxx.XY

中空压电载物台

特点:
• 最小步伐尺寸约 20nm
• 最高速度10 mm/s
• 闭环传感,空间分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm
• 支持无磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 选件
• 主体铝合金(硬质氧化发黑)
 
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产品概述

中空压电载物台特点:
• 最小步伐尺寸约 20nm
• 最高速度10 mm/s
• 闭环传感,空间分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm
• 支持无磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 选件
• 主体铝合金(硬质氧化发黑)
 
命名规则

中空压电载物台
选型表
 

型号

Carrier.L7550.XY

Carrier.L1010.XY

Carrier.R200

外形尺寸(mm)

250×200×30

250×250×40

200×200×24

主体材料

 

铝合金

 

自重(g)

2333

4000

2000

运动行程(mm)

75×50

100×100

连续运动

最小安装尺寸(mm)

325*250*30

350*250*40mm

200*200*24

通孔尺寸(mm)

85*65

120*120

60

最大速度(mm/s)

– 15

– 10

/

最小步伐(nm)

~ 20

~ 20

/

重复定位精度

驱动频率

 

 

Max. 20 kHz

最大负载(kg)

2

4

1

全行程俯仰/偏摆

 

 

/

位置传感类型

 

 

/

位置传感量程(mm)

75×50

100×100

300°

位置传感分辨率

- 光栅尺传感(.O ),10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

/

推荐使用温度

 

15-40℃

 

 
尺寸图

 
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