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SD15/30.x.C系列

SD15/30.x.C系列亚纳米高动态压电扫描台

特点:
• X方向扫描运动15um,3 um
• 外形尺寸,62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm
• 闭环分辨率优于0.1nm
• 电容位置传感
• 高速运动响应
• 真空 (.HV),高真空 (.UHV) 选件升级
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产品概述

特点:
• X方向扫描运动15um,3 um
• 外形尺寸,62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm
• 闭环分辨率优于0.1nm
• 电容位置传感
• 高速运动响应
• 真空 (.HV),高真空 (.UHV) 选件升级
 
亚纳米高动态压电扫描台选型表
 

型号

SD15.x.C

SD30.x.C

运动方向

X方向

底面尺寸×高度(mm)

62×40×13.5

80×40×13.5

主体材料

铝合金

自重(g)

250

350

运动行程(um)

15(闭环)

30 (闭环)

运动分辨率(nm)

0.1

0.2

运动可重复精度(nm)

2

4

线性误差

优于 0.035%

摇摆(urad)

2

俯仰(urad)

2

共振频率(kHz)

3.3

2.2

共振频率 (300g)(kHz)

1

0.625

刚性(N/um)

28

18

闭环传感器(闭环版本)

电容式

推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

 
亚纳米高动态压电扫描台尺寸图
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