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LS35z.Lab .O / .R

LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台

• 超安静运动,20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型··空间传感分辨(R)100-200nm
 
 
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产品概述

LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台特点:
• 超安静运动,20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型··空间传感分辨(R)100-200nm
• 最小步伐约10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台,摇摆台
• 高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件
 
命名规则

LSxxZ.lab.O/R系列压电纳米线性升降台
选型表
 

型号

LS35z.Lab .O / .R

LS65z.Lab.O / .R.

底面尺寸×高度(mm)

35×35×33

65×65×42.5

主体材质

默认不锈钢(可选铝合金、纯钛版)

自重(g)

102g(.R)200g(.O)

300g(O)

运动行程(mm)

10

最大速度(mm/s)

-10

最小步伐(nm)

~10

重复定位精度

 

 

驱动频率

Max. 20 kHz (超安静运动)

最大负载(g)

500

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad / 0.2 mrad(0.017°/0.012°)

位置传感类型

-电阻型传感( .R )

-光栅尺传感(.O )

位置传感量程(mm)

10

位置传感分辨率

- 电阻型传感( .R ),100-200 nm

- 光栅尺传感(.O ),10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

 
 
尺寸图

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