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GSxx-xx.lab.O/R系列

压电纳米角位移台

• 超安静运动,20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型··空间传感分辨率(R)100-200nm
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产品概述
特点:
• 超安静运动,20HZ驱动频率
• 闭环控制·位置传感支持电阻型(R和光学型(.0)
• 高精度空间传感分辨率(.0)10nm(默认);4.88nm2.44nm,lnm可选
• 经济型··空间传感分辨率(R)100-200nm
• 最小步伐约10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台,摇摆台
• 高真空 (HV) 和超高真空支持无磁 (NM) 、(UHV) 选件
 
压电纳米角位移台命名规则
压电纳米角位移台选型表
 

型号

GS65-77.Lab.O

GS65-97.Lab.O

底面尺寸×高度(mm)

70×70×20

主体材质

默认不锈钢(可选铝合金、纯钛版本

自重

650g

650g

运动行程(°)

+/- 10

摇摆半径(mm)

77

97

最大速度(°/s)

– 3

最小步伐

1 urad (0.000057°)

重复定位精度

 

 

驱动频率

Max. 20 kHz (超安静运动)

最大负载(g)

1000

自锁力(N*mm)

50

驱动力矩(N*mm)

20

位置传感类型

- 光栅尺传感(.O )

位置传感量程

20 °

位置传感分辨率

0.12urad(6.7m°, 默认); 0.06urad,

0.03urad可选

0.1urad(5.4m°, 默认); 0.05urad,

0.02urad可选

 
尺寸图
 
 
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