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Free6D.3-2.150系列

压电六轴并联系统Free6D.3-2.150系列

六轴压电并联系统
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产品概述

压电六轴并联系统Free6D.3-2.150系列选型表
 

型号

Free6D.3-2.150

外形尺寸(mm)

Ø150×112 mm

主体材料

不锈钢/铝合金

运动参数

行程 X, Y, Z

± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm

行程 ΘX, ΘY , ΘZ

± 10 °, ± 10 °, ± 20 °

单向重复定位精度 X, Y, Z

± 0.3 um, ± 0.3 um, ± 0.1 um

单向重复定位精度 ΘX,ΘY,ΘZ

± 5 urad, ± 5 urad, ± 5 urad

最小位移 X, Y, Z

0.1 um, 0.1 um, 0.1 um

最小位移 ΘX,ΘY,ΘZ

5 urad, 5 urad, 5 urad

位置传感参数

集成传感器

光学编码器

位置传感分辨率

- 光栅尺传感(.O ),10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

控制器信息

工作电压

220 V

控制器通道

6通道输出控制

通讯接口

USB,232,网口通讯

控制软件

提供PC端使用软件,支持labview,串口命令集控制

 
压电六轴并联系统Free6D.3-2.150系列尺寸图

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