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拉曼/荧光/光电流原位测试系统

基于RTS-mini显微系统而搭建,集成拉曼/荧光/光电流原位测试功能,配合高精度微米电动位移台,实现Raman/PL Mapping及激光诱导光电流成像。深度表征材料内部分子振动能级与转动能级结构信息,光生载流子的生成与复合机制,器件吸收和电荷生成的微区特性,光电材料界面及半导体结区的品质分布等。
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产品概述
基于RTS-mini显微系统而搭建,集成拉曼/荧光/光电流原位测试功能。该系统可原位探测拉曼、荧光及光电流信号。配合高精度微米电动位移台,实现Raman Mapping,PL Mapping以及激光诱导光电流成像(LBIC)。深度表征材料内部的分子振动能级与转动能级结构信息,光生载流子的生成与复合机制,器件吸收和电荷生成的微区特性,光电材料界面以及半导体结区的品质分布等特性。
拉曼/荧光/光电流原位测试系统技术参数
 
拉曼/拉曼Mapping 拉曼频移范围 60-6000cm-1 @532nm激光器
共焦方式 光纤共聚焦
高灵敏度 硅三阶拉曼峰的信噪比好于20:1,并能观察到四阶峰
空间分辨率 ≤1μm@100X物镜,NA0.9,532nm单纵模激光器
光谱CCD探测器
分辨率≥2000x256
量子效率在700nm-870nm区间处>90%,
光谱范围:200 ~ 1100 nm
荧光/荧光寿命成像 光谱扫描范围 200-900nm
最小时间分辨率 16ps
荧光寿命测量范围 500ps-10μs
空间分辨率 ≤1μm@100X物镜@405nm皮秒脉冲激光器
光电流/光电流成像 激光器(光源)
标配532nm激光器,能量稳定性1%@4小时
可选配2路激光器用于光电流测试
数据采集
电流源表:Keithley 2450
测量范围:1nA – 1A
暗噪声:50pA
分辨率:20fA
准确度: 0.03%
探针台
直径65mm真空吸附卡盘
探针座和样品整体二维移动,方便样品位置与光斑位置重合
样品位置单独二维移动,方便同类样品更换
样品位置移动行程25mm,分辨率5μm
探针座:XYZ行程12mm,分辨率0.7μm
探针:钨针,直径5μm,10μm,20μm可选
测试功能
光电流扫描(Mapping):可以设定固定的电压,逐点获取电流值
I-V曲线扫描(Mapping):可以设定指定的电压区间,逐点获取I-V曲线
 
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