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SH30.xyz.C系列

亚纳米高负载压电扫描台SH30.xyz.C系列

三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x15 um
 
 
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产品概述
特点:
• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x15 um
• 外形尺寸,160mmx160 mmx 35 mm
• 闭环分辨率优于0.3nm
• 最大负载 10 kg
• 支持高真空 (HV)和超高真空(UHV) 选件升级
 
选型表

型号

SH30.xyz.0 /.C

运动方向

X ,Y ,Z 方向

底面尺寸×高度(mm)

160×160×35

主体材料

不锈钢

自重(g)

4000

运动行程(um)

30×30×15

运动分辨率(nm)

0.1(开环) 0.3(闭环)

运动可重复精度(闭环)(nm)

<3

偏摆角度(urad)

20/ 20 / 50

共振频率 (空载)(Hz)

50

最大负载(kg)

10

闭环传感器(闭环版本)

电容式

驱动电压(V)

150

推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

 
亚纳米高负载压电扫描台SH30.xyz.C系列尺寸图
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